[1]吴南寿,黄丽媛,毛文健,等.非接触玻璃厚度测量系统[J].工业仪表与自动化装置,2018,(02):63-65.[doi:1000-0682（2018）02-0000-00]
　WU Nanshou,HUANG Liyuan,MAO Wenjian,et al.Non-contact glass thickness measuring instrument[J].Industrial Instrumentation & Automation,2018,(02):63-65.[doi:1000-0682（2018）02-0000-00]
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非接触玻璃厚度测量系统

《工业仪表与自动化装置》[ISSN:1000-0682/CN:61-1121/TH]

Author(s):: WU Nanshou; HUANG Liyuan; MAO Wenjian; HAN Dingan; WANG Mingyi; XIONG Honglian; TAN Haishu; ZENG Yaguang; School of Physics and Optoelectronic Engineering, Foshan University, GuangdongFoshan528000,China

摘要:: 该文研究了一种基于迈克逊干涉仪原理的非接触玻璃厚度测量系统。利用样品前后表面反射回来的探测光与参考臂的反射光发生干涉产生弱干涉信号，并用信号处理模块对弱干涉信号光进行差分放大，再对其进行带通滤波、包络解调等，从而得到玻璃厚度。系统还利用了直线电机控制反射镜实现光程的变化，并对待测物纵向深度信息进行高速循环式探测，从而实现了对玻璃厚度的高速、高精度、循环式测量。该系统适用于平板玻璃、光学镜片等玻璃制品厚度的高精度测量。

Abstract:: In this paper, a non-contact glass thickness measurement system based on the principle of Michelson interferometer is studied. Uses the reflected light from the front and back surfaces of the sample to interfere with the reflected light of the reference arm to generate the interference signal. The signal processing module is used to amplify the weak interference signal light, and then the filter and envelope demodulation are carried out to get the glass thickness.The system also utilizes a linear motor to realize the change of the optical path length and carry out high-speed cyclic measurement of the longitudinal depth information of the measured object, thus realizing the high speed, high precision and cyclic measurement of the glass thickness. The system is suitable for flat glass, optical lenses and other glass products, high-precision measurement of thickness.

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备注/Memo:: 收稿日期：2017-08-29
基金项目：
国家自然科学基金(11474053,61471123,61605026, 81601534);
佛山科学技术学院研究生自由探索基金项目(2016LGY03);
广东省大学生创新创业计划（201611847024,201611847096）;
广东省大学生“攀登计划”（pdjh2017b0526，pdjh2017b0528，pdjh2017b0533）;
佛山科学技术学院大学生创新创业计划（XJ2016102）
作者简介：吴南寿(1993)，男，硕士研究生，研究方向为精密光

更新日期/Last Update: 2018-04-15