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[1]魏丽君.基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计[J].工业仪表与自动化装置,2022,(03):3-7.[doi:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2022.03.001]
　WEI Lijun.Research and design of non spectroscopic infrared low sulfur sensor based on MEMS[J].Industrial Instrumentation & Automation,2022,(03):3-7.[doi:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2022.03.001]
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基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计

《工业仪表与自动化装置》[ISSN:1000-0682/CN:61-1121/TH]

卷:
期数:
2022年03期
页码:
3-7
栏目:
出版日期:
2022-06-15

文章信息/Info

Title:
Research and design of non spectroscopic infrared low sulfur sensor based on MEMS
文章编号:
1000-0682（2022）03-0000-00
作者:
魏丽君
（湖南铁道职业技术学院，湖南 株洲 412001）
Author(s):
WEI Lijun
( 1.Hunan Railway Professional Technology College, Hunan Zhuzhou 412001,China)
关键词:
MEMS系统; 红外吸收; 低硫传感器; 微弱信号处理
Keywords:
MEMS system;  infrared absorption;  low sulfur sensor;  weak signal processing
分类号:
TP334.3
DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2022.03.001
文献标志码:
A
摘要:
二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7～10 μm的波段，该波段正好与人体红外的波段重合，属于敏感区域，可用于军事应用，因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁；特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵，因此，开发检出限接近10 mg/L的高精度低硫传感器迫在眉睫。该文以煤燃烧后的含硫气体检测为研究对象，通过设计精密的红外气室、高精密的恒温室、微弱信号处理电路以及补偿电路，采用MEMS技术，设计完成了一款高精密的非分光红外低硫集成传感器。经检测，该传感器的检出限达到近10 mg/L。低硫测量平均值为0.382%，标准差（SD）为0.006%，相对标准偏差（RSD）为1.2%，瓶内相对标准偏差（RSD）为0.9%。实现了低硫的高精密测试。
Abstract:
The infrared absorption peak of sulfur dioxide and other sulfur-containing gases is in the band of 7～10 μm, which coincides with the infrared band of human body. It belongs to a sensitive area and can be used for military applications.Therefore, developed countries have implemented a long-term technical blockade on China, especially the infrared detection sensor with low sulfur, which is particularly expensive even if it can be purchased. Therefore, it is urgent to develop high-precision low sulfur sensor with detection limit close to 10 mg/L. In this paper, the sulfur-containing gas detection after coal combustion is taken as the research object. Through the design of precision infrared gas chamber, high-precision constant temperature chamber, eak signal processing circuit and compensation circuit, and using MEMS technology, a high-precision non spectroscopic infrared low sulfur integrated sensor is designed and completed. After detection, the detection limit of the sensor is nearly 10 mg/L. The average value of low sulfur measurement is 0.382%, SD is 0.006%, RSD is 1.2%, and RSD in bottle is 0.9%. The high precision test of low sulfur is realized.

参考文献/References:

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相似文献/References:

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2022-02-17?div>
基金项目：
湖南省教育厅科学研究青年项目（19B379）；
湖南省教育厅科学研究一般项目（20C1211）?/div>

?者简介：
魏丽君（1983-），男，湖南娄底人，硕士，副教授，主要研究方向为传感器技术、智能仪器仪表。
更新日期/Last Update: 1900-01-01