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[1]王爱华,关卫军,边松岩,等.一种真空氦漏孔配气装置的改进研究[J].工业仪表与自动化装置,2023,(04):125-128.[doi:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.024]
　WANG Aihua,GUAN Weijun,BIAN Songyan,et al.A special vacuum helium leak gas supply device for calibration[J].Industrial Instrumentation & Automation,2023,(04):125-128.[doi:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.024]
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一种真空氦漏孔配气装置的改进研究

《工业仪表与自动化装置》[ISSN:1000-0682/CN:61-1121/TH]

卷:
期数:
2023年04期
页码:
125-128
栏目:
出版日期:
2023-08-15

文章信息/Info

Title:
A special vacuum helium leak gas supply device for calibration
文章编号:
1000-0682（2023）03-0125-04
作者:
王爱华; 关卫军; 边松岩; 韩 柳
陕西省计量科学研究院，陕西 西安 710100
Author(s):
WANG Aihua; GUAN Weijun; BIAN Songyan; HAN Liu
Shaanxi Institute of Metrology,Shaanxi Xi’an 710100,China
关键词:
真空氦漏孔; 校准; 配气装置; 压力调节
Keywords:
vacuum helium leak; calibration; cas distribution device; pressure control
分类号:
TH48
DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.024
文献标志码:
B
摘要:
针对在真空氦漏孔校准过程中，所使用的配气装置压力输出范围小，与缺少高等级的采集仪表造成无法准确指示管道内气压与真空度的问题。本文主要针对此类的真空氦漏孔配气装置进行了改进，根据相关校准规范中规定的真空氦漏孔配气需求，采用了增加配气支路，及增加高等级的压力传感器与真空计的方法，实现了为真空氦漏孔进行校准的过程提供真空疏空、压力调节的功能，满足了真空氦漏孔校准过程中的大范围压力输出，与高输出准确度的配气需求。
Abstract:
In response to the problem of a small pressure output range of the gas distribution device during the calibration process of vacuum helium leaks, as well as the lack of high-level collection instruments that cannot accurately indicate the pressure and vacuum degree inside the pipeline. This article mainly focuses on the improvement of such vacuum helium leak gas distribution devices. According to the requirements for vacuum helium leak gas distribution specified in relevant calibration specifications, the method of adding gas distribution branches, as well as adding high-level pressure sensors and vacuum gauges, has been adopted to provide vacuum drainage and pressure adjustment functions for the calibration process of vacuum helium leaks, meeting the large-scale pressure output and high output accuracy.

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2023-06-08

第一作者：
王爱华（1975—），女，陕西西安人，硕士，工程师，主要研究方向为大气压计量、真空计量校准及研究。 E-mail:1054910758@qq.com
更新日期/Last Update: 1900-01-01