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[1]李海霞,杜青青.单晶炉压力自动控制系统的实现[J].工业仪表与自动化装置,2019,(01):93-96.[doi:1000-0682（2019）01-0000-00]
　LI Haixia,DU Qingqing.Implementation of a single crystal furnace pressure control system[J].Industrial Instrumentation & Automation,2019,(01):93-96.[doi:1000-0682（2019）01-0000-00]
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单晶炉压力自动控制系统的实现

《工业仪表与自动化装置》[ISSN:1000-0682/CN:61-1121/TH]

卷:
期数:
2019年01期
页码:
93-96
栏目:
出版日期:
2019-02-15

文章信息/Info

Title:
Implementation of a single crystal furnace pressure control system
作者:
李海霞; 杜青青
兰州石化职业技术学院，兰州 730060
Author(s):
LI Haixia;  DU Qingqing
Lanzhou Petrochemical College of Vocational Technology, Lanzhou 730060, China
关键词:
单晶炉; 真空与充气系统; 压力控制; PID
Keywords:
crystal growing furnace;  evacuating-charging system;  pressure control;  PID
分类号:
TF806.9
DOI:
1000-0682（2019）01-0000-00
文献标志码:
A
摘要:
根据硅单晶炉真空系统技术特点，从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善，并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制。结合工业PLC和人机界面进行编程，在实际工业中的应用，表明该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性，拉出高品质单晶。
Abstract:
According to the technical characteristics of single crystal furnace vacuum system, improve semi-automatic evacuating-charging system. Pressure control use PID algorithm added with feedforward. Combined with industrial PLC and HMI programming, in practical industry, indicates that the automatic control system design ensures vacuum furnace to achieve high stability, high-quality single-crystal.

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2018-06-13
作者简介：李海霞
更新日期/Last Update: 2019-01-15