《工业仪表与自动化装置》
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作者中包括
HUAN Xi 1
的文章
1
三自由度平行臂式薄膜倾斜角溅射装置设计
王 伟1,2，桓 茜1,2，靳浩斌1，王婧楠1 2026年01期 [26－31][
摘要
](
126
)
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pdf
2595KB]
(
290
)
DOI:
10.19950/j.cnki.CN61-1121/TH.2026.01.005