《工业仪表与自动化装置》
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MEMS系统
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基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计
魏丽君 2022年03期 [3－7][
摘要
](
1607
)(
)
DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2022.03.001