《工业仪表与自动化装置》
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关键词中包括
MEMS
的文章
1
基于MEMS技术的工业设备振动监测系统研究
信敬科 2024年06期 [71－80][
摘要
](
241
)
[
pdf
1500KB]
(
758
)
DOI:
10.19950/j.cnki.CN61-1121/TH.2024.06.014
2
压阻式高g值加速度传感器温度补偿设计
王毓婷1，石云波1，张 越2，冯登虎1，栗文凯1，马昊天1 2023年04期 [3－7][
摘要
](
701
)(
)
DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.001