《工业仪表与自动化装置》
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作者中包括
WANG Jian
的文章
1
MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计
冯张彬,熊福敏,王 健,赵立杰,席宇欣 2023年04期 [89-92+97][
摘要
](
317
)(
)
DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.016