作者中包括 ZHAO Lijie 的文章

1 MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计 冯张彬，熊福敏，王 健，赵立杰，席宇欣 2023年04期 [89－92+97][摘要](317)() DOI:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.016