《工业仪表与自动化装置》
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MEMS
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压阻式高g值加速度传感器温度补偿设计
王毓婷1，石云波1，张 越2，冯登虎1，栗文凯1，马昊天1 2023年04期 [3－7][
摘要
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509
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DOI:
10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.001