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[1]周志文,王晓燕.基于DSP的直流磁控溅射电源设计[J].工业仪表与自动化装置,2017,(02):47-49.
　ZHOU Zhiwen,WANG Xiaoyan.Magnetron sputtering DC power supply design based on DSP[J].Industrial Instrumentation & Automation,2017,(02):47-49.
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基于DSP的直流磁控溅射电源设计

《工业仪表与自动化装置》[ISSN:1000-0682/CN:61-1121/TH]

卷:
期数:
2017年02期
页码:
47-49
栏目:
出版日期:
2017-04-15

文章信息/Info

Title:
Magnetron sputtering DC power supply design based on DSP
文章编号:
1000-0682（2017）02-0000-00
作者:
周志文; 王晓燕
（西北民族大学 电气工程学院，兰州 730124）
Author(s):
ZHOU Zhiwen;  WANG Xiaoyan
(College of Electric Engineering, Northwest Minorities University, Lanzhou 730124, China)
关键词:
磁控镀膜; 开关电源; 仿真; DSP
Keywords:
magnetron sputtering ; switching power supply; coater;  TMS320F2812
分类号:
TP273;TB43
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
该文通过研究磁控靶工作时的负载特性，设计了以全桥逆变开关电源技术为基础的高效、大功率磁控溅射电源。利用Matlab搭建的模型对电路的参数、输出波形进行了仿真，在仿真的基础上完成了主回路、控制电路硬件及软件程序的设计，样机的测试，并在JTP-1400型磁控溅射镀膜机上进行了实验，实验结果证实电源具有恒流控制效果好，电流截止负反馈反应迅速、工作稳定等优点。
Abstract:
In this article magnetron regulated power supply with high power and high efficiency is designed on the basis of he full bridge inverter switching power supply technology after studies the load characteristics of magnetron target. A simulating model is composed with MATLAB to study the parameters and the waveforms of the designed circuits, The hardware circuit and the software program are designed on the basis of simulation results. The prototype of Power supply is tested. The power supply has experimented on the type of JTP-1400 magnetron sputtering coating machine, the experimental results confirm that the power supply has good constant current control effect, fast response ofcurrent cut-off negative feedback and work stability etc.

参考文献/References:

[1] 曹珍恩,巩春志,田修波,等.直流磁控溅射电源研制及输出特性研究[J].真空,2008(3):70-72.

[2] 裴云庆,杨旭,王兆安.开关稳压电源的设计和应用[M].北京:机械工业出版社,2010.
[3] 熊一频,沈锦飞,初中原.基于IGBT倍频式180KHZ感应加热电源研究[J].电力电子技术,2008(11):58-59.
[4] 周志文,马安仁.基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计[J].工业仪表与自动化装置,2014(1):106-108.
[5] 周志文.基于DSP的张力控制器设计[J].自动化与仪器仪表,2012(4):72-73.
[6] 郑红,王鹏,董云风.DSP应用系统设计实践[M].北京:北京航空航天大学出版社,2006.

相似文献/References:

[1]韩 芬.SiC MOS在有源功率因数校正电路中的应用[J].工业仪表与自动化装置,2023,(05):112.[doi:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.05.023]
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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2016-07-12
基金项目：中央高校基本科研业务费专项资金项目（31920130013）
作者简介：周志文(1971),男(回族),甘肃临夏人,教授,硕士生导师,主要从事电力电子技术方面的教学和真空应用设备控制方面的科研工作。
更新日期/Last Update: 1900-01-01